深圳市飛時(shí)通(tōng)科(kē)技有限公司

  1.将樣品載入真空卡盤，開(k畫文āi)啟真空閥門控制開(kāi)關，使樣品安全且牢固地吸附在卡盤上。長費

　　2.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平台，在顯快下微鏡低(dī)倍物鏡聚焦下看清楚樣品。

　　3.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平台嗎日将樣品待測試點移動至顯微鏡下。

　　4.顯微鏡切換為(wèi)高倍率物鏡，在大(dà)倍率下找到待測點，再還路微調顯微鏡聚焦和樣品x-y，将影像調節清晰,帶測點在顯理開微鏡視場中心。

　　5.待測點位置确認好(hǎo)後,再調節探河那針座的位置,将探針裝上後可眼觀先将探針移到接近待測點的器農位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個微調旋鈕,慢慢的将探針移至被測點線麗,此時(shí)動作要小心且緩慢，以防動作過大(dà)技工誤傷芯片，當探針針尖懸空于被測點上空時(sh線司í)，可先用Y軸旋鈕将探針退後少許，再使用Z軸旋鈕進行下線雪針，最後則使用X軸旋鈕左右滑動，觀察是否有少許微鄉劃痕，證明是否已經接觸。

　　6.确保針尖和被測點接觸良好(hǎo)後，則可以通(tō科但ng)過連接的測試設備開(kāi)始測試。常森們見故障的排除當您使用本儀器(qì)時(shí)，可能會(huì)碰到一些木件問題，下表列舉了常見的故障及解決方法。